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激光诱导外延生长设备
| LIEG
激光诱导外延生长设备
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应用领域
纳米尺度直径、大深宽比孔内填充非晶材料激光诱导外延生长和void消除
产品特点
国内首创，12寸量产设备
激光多脉冲高精度合束调控技术
大光斑、高产能
低至5mJ/cm
2
的能量密度调控精度
型号
LA3381G
激光波长
532nm
晶圆尺寸
12寸
能量调控精度
5mJ/cm
2
光斑顶部不均匀性
≤1%
焦深范围
5mm
工艺效果
结晶及void消除
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